二手 SEMITOOL PSC-101 #9175503 待售

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製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 9175503
晶圆大小: 6"
Spin rinse dryer, 6" Power: 230 Volts.
SEMITOOL PSC-101光刻设备是一种高效可靠的机器,用于关键的半导体生产过程。它设计为在晶片或基板表面上以高精度和高精度对光阻进行精确图样。SEMITOOL PSC 101非常适合大批量生产应用,与市面上所有类型的光敏材料兼容。该系统由几个组件组成,包括光刻托盘、晶圆板和狭缝投影仪。光致抗蚀剂托盘经过专门设计,最多可容纳六个标准的光致抗蚀剂瓶,以便快速方便地选择所需的光致抗蚀剂类型。晶片板包含一个Y轴级,该级具有工业标准的直流步进电动机,带有连接的编码器,以确保晶片在晶片上的精确和可重复移动。该单元还包含将在曝光过程中绘制光刻胶图样的狭缝投影仪。这款狭缝投影机是一款高度先进的投影光学机器,具有特殊的逆反射器布置和多个变焦镜头。这些透镜允许用户调整投影图像的大小和形状,以精确绘制光刻胶的图样。最后,该工具还包含各种安全功能,旨在防止人员受到危险辐射。资产采用整体安全快门,加上差压感应电路和空气幕,以保护操作员免受任何辐射泄漏。整体式安全快门自动阻挡在电源故障期间可能逃离模型密封透镜的任何辐射。PSC-101是一种高精度、可靠的光刻设备,非常适合大批量生产环境。它提供了所需的准确性、精确度和安全性,以确保能够以完整和质量制造高灵敏度、高精度的电子元件。
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