二手 SEMITOOL PSC-101 #9184604 待售

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SEMITOOL PSC-101
已售出
製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 9184604
Spin rinse dryers Module: Wet etcher.
SEMITOOL PSC-101是一种光刻设备,旨在协助先进的光刻工艺生产电子、光电和光子器件。在半导体工业中,光阻系统在尖端半导体器件的制造中起着举足轻重的作用。SEMITOOL PSC 101专为中型和启动应用而设计,并利用最新的抗拒应用技术,提供了一个高可靠性和成本效益的光刻平台。PSC-101光学系统包含两个自动光学元件:一个远程中心透镜和一个狭缝扫描透镜,以提高均匀性。该单元还具有独特的功能,例如用于快速基板装卸的自动滑动凸轮卡带器,以及用于选择基板并将其装入基板托盘的运动控制机器人平台。该机器还有一个完全集成的污染物控制工具,旨在保护微妙的过程免受微粒污染。污染物控制资产采用点源紫外线过滤器和持续疏散和过滤的气闸模型,其目的是减少维修和修理所需的洁净室干预次数。PSC 101在高温应用中的性能也经过了彻底的测试和验证,这是光刻系统的一个重要特点。整个设备设计为连续运行,无需人工干预。归根结底,SEMITOOL PSC-101是高级光刻应用程序的理想选择,因为它提供了无与伦比的性能、卓越的可靠性、用户友好的自动化和制造成本效益。
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