二手 SEMITOOL PSC-101 #9185381 待售

製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 9185381
晶圆大小: 6"
Spin rinse dryer, 6".
SEMITOOL PSC-101光刻设备是一种先进的湿处理系统,可用于各种半导体制造任务。该单元能够处理最大300毫米的晶片尺寸,由一个逻辑单元、一个精密喷涂装置、一个轨道组件、晶片处理系统和抗蚀剂加工站等几个模块组成。逻辑单元是机器的中心部分,也是负责所有子单元操作的主控制器。它是工具的大脑,控制着资产的各个部分。精密喷涂装置设计用于将液体雾化成细喷雾,非常适合光敏应用。轨道总成是模型的骨干,负责在喷雾站和抗蚀剂加工站之间输送晶片。晶圆装卸设备调节晶圆的运动,确保装卸过程的准确性和安全性。抗蚀剂加工站自动加载和卸载晶片,然后通过施加光刻胶的曝光站。SEMITOOL PSC 101是一种有效、自动化的光敏涂层应用解决方桉。通过增加处理时间的"干式就地"功能,它是精确可靠的。它还配备了防飞溅帽,可最大限度地减少操作过程中的废物和污染风险。该系统采用高品位材料,保证耐用性和安全运行。PSC-101是创造尖端半导体产品的绝佳工具。
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