二手 SEMITOOL PSC-101 #9194999 待售

SEMITOOL PSC-101光刻胶设备为光刻胶清洗和涂覆晶片提供精确可靠的解决方桉。这是通过自动卡带到卡带晶片处理过程来完成的，确保每次都有一致的结果。该系统采用现代计算机软件、高级控制器和高分辨率显示器，是最先进的。SEMITOOL PSC 101设计为具有高度的过程控制与集成的基于PC的处理计算机。这允许增强功能,例如在处理批次之前预先准备任务、工作组管理和远程监视功能。用户还可以存储特定进程的数据和设置以供重复使用。该单元具有高分辨率显示器，允许用户目视检查光刻涂层厚度和均匀性。它还具有一个快速、可靠的监控机器，能够检测出超出规格的光阻。该工具还具有用于检测表面缺陷的晶圆检查选项。PSC-101配备了自动热板，设计用于在不到10秒的时间内在整个晶片上提供均匀一致的光刻温度。这样可以确保所有晶片的质量一致。光致抗蚀剂采用分配法或可调节旋转速度的自旋涂层。这确保了整个处理过程中可重复的结果。光刻胶资产设有两个可预热和温度控制的热清洗室，以便有效清洗。然后是一个大容量的洗涤选项，可实现高速、高效的洗涤时间。光致抗蚀剂模型通风以保证安全、高效的操作。PSC 101的操作旨在方便用户使用,为所有设备操作提供清晰的菜单驱动界面。这允许用户随时从各种选项中选择并监视进程的状态。它还提供多个警报,以提醒用户注意任何进程问题,从而允许快速响应。总体而言，SEMITOOL PSC-101光刻胶系统为处理和涂覆光刻胶提供了可靠有效的解决方桉。通过自动卡带到卡带晶片的处理，该单元被设计为提供一致的结果，并且可以适应各种应用。它的用户友好界面还确保了易于使用的机器，允许用户快速准确地监控进程的状态。