二手 SEMITOOL PSC-101 #9206783 待售

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製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 9206783
Spin Rinse Dryers (SRD) Single stack.
SEMITOOL PSC-101是一种光刻设备,设计用于高精度制造过程。该系统设计用于将光刻胶沉积到半导体晶片上,以确保沉积过程的均匀性和准确性。该单元的工作原理是使用紫外线光源在晶片上暴露特殊的光敏涂层,然后形成所需制造特征的负片图像。SEMITOOL PSC 101具有激光控制的3位级,允许晶片在腔内精确定位和移动。机器还包括一个负载锁定模块,其功能是提供足够的真空和清除过程,以创造一个稳定的样品环境。该工具还能够根据光刻胶片的厚度自动调节激光束的焦点。涂层厚度分布通过数码相机和彩色监视器以视觉方式显示,使技术人员能够在沉积过程中准确监控光敏层。PSC-101还包括一系列复杂的控制,例如用于处理晶片的传送带资产和自动温度控制模型。该设备旨在为光刻沉积过程提供高精度、重复性和均匀性。此外,这套系统是为低单位维护和长机器寿命而设计的,允许用户对机器进行长期投资。最后,PSC 101是将光刻胶层沉积到半导体晶片上的理想溶液.该工具具有出色的控制和精度,以及低维护、长生命周期和高重复性,可用于晶圆的精密制造。
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