二手 SEMITOOL PSC-101 #9232949 待售

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SEMITOOL PSC-101
已售出
製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 9232949
晶圆大小: 8"
Cleaner, 8".
SEMITOOL PSC-101是一种光刻带设备,设计用于将光刻胶薄膜沉积到基板上。SEMITOOL PSC 101将光致抗蚀剂溶液沉积在基材上,然后在烤箱中固化,提供均匀、高分辨率的涂层。PSC-101采用先进的高粘度溶液输送系统,确保了基板的精确涂层。该单元有多种控制设置,允许用户修改速度、热量和其他变量,以达到所需的涂层厚度和分辨率。光刻胶溶液中的感光材料借助内置集成的UV-C光源迅速暴露在紫外线下。这种暴露有助于在基板上形成精确和均匀的涂层,并具有出色的附着力。使用可调节高度的喷嘴可以控制光刻胶的厚度,集成的高分辨率微米有助于确定喷嘴与基板之间的精确间距。SMARTCONTROL软件使用户更容易设置光刻胶参数并监控整个不间断涂层工艺。PSC 101机器还包含一个直列固化皮带驱动器,使操作员能够快速启动和结束其涂层作业。它有一个更大的腔室,有助于在更大的底物中实现均匀的固化。该工具还包括一个可持续调节的空气淋浴来预热基板,以及一个静态耗散的工作面来优化涂层工艺。真空能力有助于加速固化,自动取料主轴设计用于基板的高通量。所有这些特性的结合使得SEMITOOL PSC-101一个理想的光刻带资产更厚和一致的涂层。对于那些希望为其项目获得高分辨率结果的人来说,这是一个可靠且经济高效的解决方桉。
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