二手 SEMITOOL PSC-102 #293642734 待售

SEMITOOL PSC-102是一种光刻设备，设计用于在光刻过程中将晶片均匀暴露于化学和光源。该系统由两个主要组成部分：输送站和暴露单元.送货站用于将晶片移入和移出曝光单元。该站有两个盒式磁带，每个盒式磁带最多可容纳15个晶圆。晶片使用三轴对准机构从卡带转移到曝光单元，该机构将晶片直接从其输送卡带对准曝光单元。该单元还使用自动化软件来控制盒式磁带、晶圆传输和曝光参数。曝光单元是机器的心脏，用来将晶片暴露在光线下。这个单元装有一个高强度的灯，对于不同类型的光敏材料可以设置到不同程度的辐射。该单元还提供了对曝光时间的精确控制。接触区域是密封的，提供防尘和其他污染物的保护。该工具还提供了先进的安全措施，以确保用户和晶片免受辐射。此外，SEMITOOL PSC 102提供自动化的上下游过程控制。这包括精确的监控资产,以跟踪确切的曝光时间和级别,以及保存和召回以前使用的曝光设置的能力。这些特性保证了均匀和可重复的光刻图样的产生。总体而言,PSC-102是一个自动化、高效和可靠的光刻图案模型。它的模块化设计和安全特性确保晶片能够在生产过程中驱动,同时提供保护,防止污染和过度暴露于光线。它的自动化控制和上游/下游过程控制设备使创建精确和可重复的光刻胶图样变得容易。