二手 SEMITOOL PSC-102 #293820424 待售

SEMITOOL PSC-102光敏设备是一种高性能的处理系统，旨在为各种晶圆应用提供精确的无缺陷光敏涂层和开发。该装置配备了先进的触摸屏控件，使机器易于操作和编程。它能够为用户提供精确的温度和湿度控制，以及精确的旋转速度、计时器控制和浸洗能力。此外,该工具还配备了强大的工艺监控资产,能够检查薄膜的均匀性以及厚度等其它临界抗蚀性参数。SEMITOOL PSC 102型号还配备了用于晶圆表面清洁和光刻胶去除的抗蚀剂剥离模组（RSM）。RSM由超声波清洗室、基板处理器和干式风扇台组成。超声波室用于确保去除基板，并确保在晶片上涂覆光刻胶之前具有适当的表面清洁度。基材处理器负责提供基材和晶片的清洁，抵抗晶片的剥离和干燥。最后,干式风扇台设计用于快速释放任何剩余的抗蚀剂,并有助于避免产品浪费和污染。该设备配有几个可选组件，如送粉料斗、空气淋浴、模块化高速旋转站和自动处理系统。粉末输送料斗用于存储和分配磁阻和常规光刻胶。空气淋浴用于为晶片提供环境和屏障环境，以促进优越的光敏涂层、发展和边缘完整性。模块化高速旋转站提供了额外的灵活性，允许晶圆的低轮廓，确保旋转过程的高可靠性和准确性。自动化处理系统是为处理各种类型的光刻胶而定制的，包括传统和现代的先进光刻胶。每个自动化系统的设计都非常小心,以确保可靠和安全的操作。简而言之，PSC-102光敏装置是一种高性能的处理解决方桉，为用户提供精确的控制和可靠的性能。它的功能和选项为用户提供了满足其需求和要求的各种选项和灵活性。