二手 SEMITOOL PSC-102 #9400846 待售

SEMITOOL PSC-102是为半导体晶圆加工和其他先进光刻应用而设计的先进光刻加工设备。它是一个完全自动化的串联系统,可提供卓越的流程控制、减少停机时间和提高流程灵活性。该装置利用湿蚀刻室和自旋涂层室两个主要子系统，提供完整的光敏处理环境。SEMITOOL PSC 102的湿蚀刻室使用反应性溶液，从晶圆的基板表面移除一层光致抗蚀剂。这是通过机械和化学剥离相结合来实现的。该腔室设有一个精密、可编程的旋转平台，便于晶圆均匀旋转，而精密喷嘴则分配蚀刻溶液。腔室中的紫外线LED提供了必要的光致抗蚀层曝光,从而在蚀刻边界内实现了更高的分辨率。通过使用可编程气体通风口进一步加强了蚀刻过程，这有助于在晶圆的整个表面进行高度均匀的蚀刻。自旋涂层室设计用于在晶圆表面上均匀沉积一层薄薄的光刻胶。该室装有一个精密、机动化的平台，用于晶圆旋转，并配有液体分配机，用于精确的溶液输送。自旋涂层室还配备了涡轮泵机和气体分配工具，以更好地控制大气环境和光敏沉积。一个数码相机和增强的光学辅助检查过程，以帮助确保最佳的过程结果。PSC-102是先进的光刻加工资产，为光刻和半导体制造提供了高效、自动化的平台。它提供了卓越可靠的过程控制,减少了停机时间并提高了过程灵活性,以提高产品产量。该模型非常适合先进的光刻应用，非常适合高容量和较小的运行晶片处理需求。