二手 SEMITOOL Raider 312 #9240237 待售
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SEMITOOL Raider 312是一款具有最新高精度光刻技术的先进光刻设备。该系统专为广泛的光刻应用而设计,包括单掩模、多图样和高分辨率成像。突袭者312的特点是三级光源范围从196 nm深紫外线到11,000 nm波长。该装置利用三个石英卤素光源提供最大曝光范围。此外,该机器还包含几种先进的光学元件,包括精密可变聚焦光学工具、变焦光学组件和自动对焦资产。这些功能提供了卓越的成像精度和高分辨率功能。SEMITOOL Raider 312的工作台可容纳多达8个不同尺寸和材料组成的基片。该表还具有一个可调节的高度控制模型,用于容纳各种厚度的基板和两个精确定位的对齐阶段。为了确保整个晶片的照明均匀,设备还包括一个固定平面反射器和一个反向场散射还原屏蔽。该系统还具有温度控制选项,允许调整镜片温度以最大限度地提高质量。集成的防反射涂层单元还为各种曝光提供了最大的灵活性。Raider 312设计用于处理所有光刻工艺步骤。集成的晶圆处理机允许自动基板加载和对准;和曝光可以在2.5秒内进行。SEMITOOL Raider 312采用全自动闭环校准程序;这样可以确保所有应用程序的重复性能。该工具还为用户友好操作提供了一系列标准软件选项。此外,客户服务和技术支持可用于资产设置和维护。综上所述,Raider 312是一款高精度的光刻模型,具有先进的光学和温度控制系统,具有卓越的成像精度和曝光时间。它的全自动过程和闭环校准保证了一致的性能和可靠性。
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