二手 SEMITOOL Raider ECD 10 #9211215 待售
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SEMITOOL Raider ECD 10是一种光阻涂层设备,提供直径不超过10英寸的基板的完整、可重复、集成的光阻涂层。该系统每批最多可容纳16个晶片,设计目的是在整个基板表面提供均匀边缘分布的均匀涂层。Raider ECD 10采用双头喷雾器设计,可提供高达600mm的令人印象深刻的涂层宽度。显影头具有独特的径向喷雾射流,可通过清扫运动覆盖晶片。此解决方桉可确保涂层工艺的均匀性和整体表面覆盖率。SEMITOOL Raider ECD 10配备了基于PC的控制器,可提供全流程控制。它能够控制单个喷头参数,如压力、溶液速度、宽度和过度喷雾,从而确保精确分配到晶圆上感兴趣的区域。这种易于导航的菜单程序还可以记录多达50种工艺配方以及与工艺和性能相关的标准报告。入侵者ECD 10采用卓越的材料,为用户提供卓越的耐用性和固有的安全性。喷嘴外壳由不锈钢制成,以确保更长的寿命,喷嘴由陶瓷制成,以减少化学磨损。减少化学磨损。该单元的腔室也采用双层不锈钢密封,最大安全。最后,SEMITOOL Raider ECD 10被设计为用途广泛,与各种化学品和掩蔽剂兼容。机器需要最少的维护,并且可以根据特定的工艺要求轻松调整。
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