二手 SEMITOOL Raider ECD 210 #9355393 待售
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ID: 9355393
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Electroplating system, 8"
Model no: R310PD2 (1SA2CFD1CAP) 08 (CuNi) 03
(3) Cassette WIPs
Linear dual arm robot
With single vacuum end effector
Advanced Replenishment Unit (ARU)
(2) Chemical Delivery Units (CDU)
(2) Heat exchangers
DI Boost pump
Fire suppression system
With (3) CO2 Bottles
Computers:
WIP Computer
Module Computer
Robot Computer
Controllers:
Front User Interface (FUI)
Rear User Interface (RUI)
502 Controller
Operating system: Windows embedded
Chamber mainframes:
CPC 2 / Capsule, backside clean and bevel etch
CPC 4 / ECD, CFD3M
CPC 7 / ECD, CFD3M
CPC 9 / SRD
Missing parts:
Rings and lip seals
Anodes
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 4 Wires, 3 Phase
2004 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 210是一款高端光阻设备，设计用于从半导体到MEMS制造的应用。该系统设计用于在晶片和基板上沉积和剥离光致抗蚀剂，以创建一个表面层，并能够构建电子元件。它集成了精确的扫描,以确保该层覆盖整个区域。Raider ECD 210拥有先进且用户友好的计算机化软件，专为更快的沉积和剥离过程而设计。该单元允许操作员将整个过程编程到计算机中，例如涂层速度和速率，以及压力和温度等其他参数。SEMITOOL Raider ECD 210通过调整所需的温度、搅拌速度和热分子比来提供更好的物质控制。这台机器提供可调的纺丝速度和化学溶液密封，使光致抗蚀剂在晶片或基板上的最佳和均匀沉积。它具有丰富的灵活性，可以处理各种不同材料的基板，从硅到石英。纺纱室易于控制，使得化学过程得以快速设置。它还能有效地包含化学溶液，减少光刻胶层的污染。突袭者ECD 210配备了一个RFID工具，用于跟踪化学品的位置和储存，确保操作员的安全。它还设有内置接口，以精确控制涂层工艺的速度和压力。此外，为了确保光敏层更平稳的操作和质量，该资产与真空剥离工艺相结合。为了提供一致的结果，SEMITOOL Raider ECD 210具有内置的监控功能。此模型采用先进技术设计,并提供一贯的高产量和低拥有成本。入侵者ECD 210适用于多种应用，包括集成电路制造和MEMS装配。
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