二手 SEMITOOL Raider ECD 300 #9223828 待售
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ID: 9223828
Wet process etcher
EFEM
Main body
Monitor rack
Filter
Filter cover
Power box
Parts box
Pallet:
Blower filter
(6) Power supplies.
SEMITOOL Raider ECD 300是一种光刻设备，用于在蚀刻或其他进一步加工之前将不透明的光敏物质施加到半导体晶片的选定部分。这种设备是专门为提供更高的精度和可靠性图样的光刻设计。入侵者ECD 300利用电子束诱导化学沉积（EBID）技术，是化学气相沉积（CVD）的一种变体。电子束被引导到晶片上，在晶片周围的气体中产生电子和离子，它们与光敏材料反应，在晶片的选定部分上形成不透明的毯子。这一过程能够检测和控制光刻胶从2 um到500 um间距的图样，特征尺寸小到0.3 um。SEMITOOL Raider ECD 300提供硬件，旨在提高运行速度，提高可重复性和可靠性。这包括自动聚焦和晶圆调平能力，确保光刻胶图样的有效和准确的应用。该系统还配备了自动级旋转，最短的标线成像时间。Raider ECD 300具有支持各种光阻的能力，厚度从400 nm到1000 nm，具有高长宽比的能力。此外，该装置还具有先进的真空技术，能够实现可靠的抗旋涂层，减少粒子排放，并确保延长腔室寿命。SEMITOOL Raider ECD 300的高级控件及其高精度传感器使光刻胶在晶圆上的应用更加一致。严格控制曝光参数可确保晶片表面的厚度均匀,并可精确控制图样的临界尺寸。总体而言，Raider ECD 300是半导体器件制造的理想工具，适用于需要高速精密制图的应用，如高功率器件处理、SONOS内存、微流体芯片等。这台机器的先进特性和能力使它成为一个可靠和高效的光刻工具。
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