二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #293652806 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是一款先进的光阻设备，旨在为极细结构提供最佳成像过程。它基于经过SEMITOOL验证的自动反应离子蚀刻（ARIE）技术，提供卓越的图像对比度、优选的成像轮廓和高均匀性。SEMITOOL RAIDER ECD-310配备了下一代干蚀刻离子束源，它只允许几纳米的高分辨率成像和精细蚀刻。该系统还利用反应性离子蚀刻（RIE）来有效去除光刻胶，并采用特殊的辉光放电清洗装置来控制缺陷。除了提供最佳性能外，Raider ECD 310还旨在降低拥有成本。它是一台单操作机器，无需单独蚀刻和清洁步骤。它还使用通用的基板传输机器人,可实现高效的掩码更换和快速的处理速度。RAIDER ECD-310包括一个强大的基于Windows的平台,以实现高效操作。刀具操作可以调整为具有一系列标准和可选功能可供选择的单个首选项。这包括跟踪资产性能和防止成像缺陷的过程监视器,以及基于等离子体的特殊功能,以确保高光刻分辨率。SEMITOOL Raider ECD 310是一种可靠、高性能的解决方桉,用于对极其精细的设备结构进行高级成像和蚀刻。它使用了先进的干蚀刻离子束模型,以确保卓越的图像分辨率,同时通过消除对多种操作的需求将拥有成本降至最低。其强大的基于Windows的平台提供了一系列功能和控制,使其非常适合用于生产和研究设置。