二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #293792208 待售
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ID: 293792208
System, 8"-12"
Process: TES
(2) FOUPs / FOSBs
Robot
Controller
Process module:
CPC / Type
1 / Backside clean, 12"
2 / Vacuum pre wet, 12"
3 / Raptor TSV, 8"
4 / Raptor TSV, 12"
6 / DOB SLE, 12"
9 / Capsule 1, 8"
10 / DI Pre wet, 12"
Delivery system:
Tank / Size
DSPM (Process) / 10L PFA
DPSM (Mixing) / 10L PFA
TSV Catholyte / 20L PFA
TSV Anolyte / 20L PFA
SLE Catholyte / 36L NPP
SLE Anolyte / 20L PFA.
SEMITOOL Raider是为PCB组装过程中集成电路（IC）和微电子器件基板的开发和处理而设计的光阻设备。它提供了一个全面的光刻和后显影系统，可以结合各种金属沉积和蚀刻技术使用。Raider单元通过其软件、硬件和过程服务的自动化软件包支持高级级别的基板过程控制。SEMITOOL Raider机的核心部件是其光刻胶罐，其中基板在加工过程中浸入并暴露于光刻胶中。光致抗蚀剂罐由不锈钢制成，有两个盖，可以打开或密封，以便在基材加工过程中进入光致抗蚀剂。入侵者工具还包括一个编程的扫描阶段，该阶段自动移动基板通过光刻胶储罐，以精确控制光刻胶的曝光。基板接下来被转移到后显影处理室，在该室发生光刻胶显影。在这个腔室中，底物暴露在加压氧气、氮气和氙气的高度控制气氛中。SEMITOOL Raider资产应用高强度光进一步激活光刻胶，作为开发过程的一部分。可选的紫外线光源可用于进一步提高光刻胶的曝光度。除了其光刻胶和后开发能力外，Raider模型还提供了控制金属沉积过程的多种选择。有多种沉积服务，包括电化学沉积、溅射和直接金属化。SEMITOOL Raider系统还装有高精度的阴影遮罩，能够将金属精确地沉积在基板上。还可以实现自动化工艺参数，进一步优化金属沉积工艺。入侵者设备是一种多功能、高性能的光敏处理系统，为基板的开发和金属沉积提供了一个全面的解决方桉。其自动化的软硬件包保证了各种微电子器件基板的高质量处理。
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