二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9236557 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是为高通量精密光刻加工而设计的光刻加工设备。它能够处理尺寸不超过8英寸的晶片，最小特征尺寸为10微米。该系统采用一种新型的电化学沉积（ECD）工艺,用于光致抗蚀剂的应用.该工艺是为了满足半导体工业对一致的薄膜轮廓、分辨率和工艺可重复性的严格要求而开发的。ECD 310采用了专有抗蚀剂技术和精确的电化学输送系统的组合来实现这一目标。该装置具有全自动晶片级，允许快速基板装卸。这是结合了自动抗蚀剂分配，晶圆曝光和洗涤能力，以有效的光刻处理。利用精密的垫片和喷头优化了抗蚀剂轮廓,以确保晶片的均匀性,并最大程度地减少工艺的可变性。该机器包括一个阻燃罩和烟雾提取能力，以确保危险材料的遏制。自动化的物料管理功能确保在每个应用程序中使用适当数量的抗蚀剂，并选择正确的类型，而集成的RI检测器则能够对实时反馈和质量控制进行连续监控。该工具已启用网络,可用于远程访问和监视。这样就可以远程监视流程参数,并能够从外部位置控制储罐等级。该资产还具有用于原位晶圆检测的高分辨率视觉模型功能，从而可以在处理前后分析缺陷。SEMITOOL RAIDER ECD-310是一种高通量、精密的光刻加工设备,设计符合严格的行业标准.它结合了自动化控制、高精度传送技术和视觉系统功能,以确保在各种基板上进行高级光刻加工时应用一致、准确和可重复的抗蚀剂。