二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9274916 待售

製造商
SEMITOOL
模型
Raider ECD 310
ID: 9274916
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Electroplating system, 12" 2009 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 310是为稳定微电子生产中的高质量光阻电路模式而研制的先进光阻设备。它提供了超过标准平版印刷方法能力的改进性能。该设备采用先进的直接写入技术,避免了成本高昂的抗蚀剂图样接触打印,同时保持了最高的图像质量和精度。该系统采用单色激光对准装置,利用激光二极管代替传统光学元件,实现了更高的精度。这项技术还消除了错误的对齐,并补偿了整个生产过程中的拍摄过程变化,从而确保了一致的蚀刻深度和可靠的蚀刻速率。SEMITOOL RAIDER ECD-310有一系列功能作为后盾,使其成为光刻加工的一个有吸引力的选择。它具有很高的功率能力,并提供了高达36V的高效处理RCOR潜力。该机还具有先进的防护涂层,减少了热和侵蚀性化学物质造成粘附板损坏的可能性。它具有紧凑的设计,可提供高效的制造空间,同时提供最高的吞吐量和可靠性。Raider ECD 310还提供温度控制功能,保证无颗粒过程和冷却过程。该工具配有高性能的超声波清洗装置,利用超声波复合到图样化装置上方的光刻层中。这一清洗过程提供了一致的结果和卓越的精度。此外,该资产还具有低温烘烤炉、快速溶剂烘干机和封装显影剂。这些组件协同工作,提供准确的过程结果,而不会造成额外的热损坏。RAIDER ECD-310能够创建功能大小小至2 µm的复杂电路模式,为要求最苛刻的应用程序提供卓越的分辨率。由于其先进的技术特点,它是当今微电子制造环境中一种有效可靠的工具,能够有效地制造复杂的光阻电路模式。
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