二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9357913 待售
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已售出
ID: 9357913
晶圆大小: 12"
Electroplating system, 12"
Ulpa filtration, P/N: 70006-401
(3) Exhausts
Drip pan
LT Process robot, P/N: 610T0300-01
Station control
User Interface:
Rear, P/N: 650T0030-03
Front, P/N: 650T0030-501
Operating system: Embedded XP system
(2) USB Ports
Metrology unit, P/N: 90005-81
Buffer station, P/N: 640T0377-01
Transfer robot, P/N: 610T0300-01
FOUP / Cassette:
ENTEGRIS F300 Auto pod, P/N: 01-018675
Wafer diameter: 300 ± 0.25 mm
Wafer pitch: Half Pitch
Wafer mapping capability:
E84 Parallel I/O sensors, P/N: 4012-25
E99 Carrier ID reader
(3) HERMOS RF Tag readers
(3) FOUP Load ports, P/N: 640T0147-505
Chemical connections:
Line-1: Catholyte A 180L
Line-2: Anolyte A 65L
Line-5: H2SO4
Line-6: H2O2
Line-7: CDA
Line-8: DI
Line-9: N2
Line-10: House vacuum
Line-11: CO2 Fire suppression
Photospec probe, P/N: 90005-01
pH Probe, P/N: 61326-16
Sampling port, P/N: 429T1635-503
RTA Probe, P/N: 90005-50
Real time analyzer: Gold box
Drain
Chamber 1 and 2:
Rinse dry with bevel etch capability
Lift automation assembly, P/N: 200T0085-03
Mixing tank, P/N: 330T0188-01
Delivery tank, P/N: 330T0190-15
Bowl, P/N: 100T0143-09
Temperature control: Heating / Cooling coils
N2 Dryer
Chamber 3, 4, 5, 6 and 7:
Electroplating chamber with membrane
Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01
Catholyte tank, P/N: 330T0186-515
Anolyte tank, P/N: 330T0243-501
Temperature control: Heating / Cooling coils
Anodes, P/N: 14400-90
Membrane, P/N: 111T1388-03
Filter, P/N: 7004-63
Pump, P/N: 70959-31
De-bubbler, P/N: 119T1289-03
Ring rinse nozzle, P/N: 341T0043-01
Wafer rinse nozzle, P/N: 341T0043-01
Power supply, P/N: 900C0329-01
Chamber 8:
Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01
Catholyte tank, P/N: 330T0186-515
Anolyte tank, P/N: 330T0243-501
Temperature control: Heating / Cooling coils
Anodes, P/N: 14400-90
Membrane, P/N: 111T1388-03
Filter, P/N: 7004-63
Pump, P/N: 70959-31
De-bubbler, P/N: 119T1289-03
De-bubbler, P/N: 119T1289-0
Does no include Hard Disk Drive (HDD).
SEMITOOL Raider ECD 310是为制造光伏电池和其他半导体器件而设计的光刻设备。它是SEMITOOL Raider系列抗蚀剂系统的最新成员，旨在简化光致抗蚀剂的沉积过程。SEMITOOL RAIDER ECD-310提供了一个可靠、高性能的模版口罩模版平台,具有一系列简化模版口罩制作过程的功能。该系统具有最先进的机器人喷洒床功能，能够以高度控制和可重复的方式沉积液体，单次运行可覆盖六平方英尺。入侵者ECD 310的精确度,两轴喷雾机器人允许更精确地放置模具,最大限度地减少浪费,并允许精确的口罩配准。该单元还包括一个定制的高分辨率摄像头，它允许精确的蒙版可视化和易于的过程步骤的可视化。这有助于确保以大约15 μ的精度执行所有过程步骤。这台机器利用了一种高功率的紫外线激光器，它提供了最佳抵抗模式所需的功率。RAIDER ECD-310还利用高真空工具来维持沉积光致抗蚀剂所需的低温，以及吸出水分和空气污染物。资产还包括使用软件包,以方便安装、重复性和维护喷雾机器人参数。该软件简化了喷雾机器人的校准，节省了时间，减少了出错的可能性。SEMITOOL RAIDER ECD 310除了喷涂光抗蚀剂外，还能进行化学湿蚀，使得即使是最複杂的光伏装置也能够製造。SEMITOOL RAIDER ECD-310是一个直观且易于使用的模型，提供卓越的准确性、重复性和准确性。其多种特性使其成为生产光伏电池和器件的理想解决方桉。
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