二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384185 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是一款专为高级半导体器件制造制造大基板的高精度加工而设计的光刻带设备。它配备了一个专有的双离子束源，使用一个能够同时传递电子束和离子束的模块。SEMITOOL RAIDER ECD-310具有获得专利的双膜曝光（DFE）系统,可用于优化模式定义。DFE技术利用"软"电子束和"硬"离子束来暴露单层光致抗蚀剂。这种组合可以改进模式定义,并减少模式传输所需的操作数量。ECD 310有一个视场（FOV）,它覆盖直径可达200毫米的基板,用于12英寸的标线,精度± 6微米。该单元可配置为用于晶圆洗涤或红外辐射灰化。机器有一个集成的警报监控工具，引导用户改变操作参数。Raider ECD 310是一种高效、可靠且用户友好的光阻处理资产,有助于支持现代半导体制造中的各种复杂性和性能要求。它具有全面的控制界面,可实现高效、准确的处理,并具有管理全面和半规模生产运行的灵活性。此外,它还具有三室安全外壳、内置屏蔽和独立排气等多种安全功能。此外,RAIDER ECD-310的自动化功能确保了关键流程参数的高准确性,该功能提供了对过程中OBIR的外部控制、监控和记录。总体而言，这种光刻胶带模型旨在帮助支持高效、可靠和高精度的基板加工。