二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384187 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是为精密光刻蚀刻加工而设计的自动抗剥离和清洁设备。该系统用于剥离和清洁半导体工业中蚀刻加工所需的光刻胶和其他基材。SEMITOOL RAIDER ECD-310具有直观的用户界面,易于使用和编程。该单元采用可调节的Megasonics模式，为用户提供了广泛的蚀刻工艺清洁度优化选项。该机采用双罐式工具，在清洁应用中提供灵活性和效率。这两个储罐都是用封闭式空腔建造的，设计用来限制任何液体溢出。它还具有独特的多步骤选项,可以显着提高流程的统一性和完整性。ECD 310利用高效的供暖资产，在过程运行过程中提供统一的供暖剖面。它配备了升降、喷射和擦洗清洁应用。升空模式利用加热的DI水来达到均匀的水面，以便从基板上升起小颗粒的光刻胶。喷雾模式利用高压实现晶圆的温和液体去除。擦洗模式利用超声波空化能量进行最佳清洗。这种模型高度自动化，具有先进的机器人技术，可以将基板从一个工作站精确转移到另一个工作站。它能够处理多种基材，如光掩模、晶片、200mm/300mm和透硅通气（TSV）。它还具有可编程用于清洁过程配方的机器人部件，并具有允许存储和召回程序配方的"批处理模式"。ECD 310符合SEMI S2和EHS标准,可安全用于生产。它具有现代化的彩色触摸屏,易于操作,并提供一系列功能,包括实时流程监控、流程历史记录和报告功能。此外,设备是便携式的,可以在任何地方移动和设置。总体而言,Raider ECD 310是一个先进且用户友好的自动光刻系统,可帮助用户完成蚀刻过程。它具有多种功能，符合行业标准，是蚀刻应用的理想选择。