二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9391880 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是一种自动化的电镀、化学脱矿化和光阻剥离设备。它旨在为去除微电子器件表面的有机和无机污染物提供可靠和可重复的结果。该系统配备了环境友好型闭环工艺控制，确保对操作员、设备和产品的保护。SEMITOOL RAIDER ECD-310具有两室设计，包括一个电极化室和一个化学脱矿化室。电子抛光室可编程为提供最多三个不同的电子抛光循环，从而实现最大的工艺灵活性。化学脱矿化室配有再循环泵，可确保溶液浓度一致，从而获得可靠和可重复的结果。光致抗蚀剂室配有高压高温喷嘴，设计用于彻底清洁设备表面的所有光致抗蚀剂和污染物。入侵者ECD 310配备了一系列可以定制的工艺参数，以优化电子抛光、化学脱矿化和光阻剥离工艺的结果。温度、压力、化学浓度、时间和变化率等参数均可根据应用需要进行调整。该装置还提供一系列增强沐浴寿命的选择，如自旋过滤技术、扩散清洁和碳沉淀。RAIDER ECD-310易于安装和操作。设置和校准是快速而直接的,这意味着用户可以在短时间内开始处理部件。直观的图形界面允许用户轻松调整设置或监控机器的运行。模块还设计为独立运行，允许在另一个模块正在处理或停止时使用一个模块。SEMITOOL Raider ECD 310是一款先进的光刻工具，旨在提供高质量、可重复的结果。它具有两室设计、可调工艺参数、自旋滤波器技术和直观的图形界面，使其成为微电子器件表面清洁的理想解决方桉。