二手 SEMITOOL Raider ECD #9275234 待售

SEMITOOL Raider ECD是一种光刻设备，设计用于为后端应用创建低k和干氧化膜堆栈。该系统是一个电子回旋加速器沉积室，结合了紫外线暴露和分解技术，以优化低k材料的制备。该单元利用两个带状隔室，用射频屏蔽隔开，允许氧化物沉积在基板上，然后在氧化物结构上分解光刻胶。Raider ECD是OEM应用程序和小型晶圆厂的理想机器,因为它经济实惠、小巧,集成了同轴双快门工具,使用寿命更长。SEMITOOL Raider ECD具有独特的设计和特点，有利于多种介电应用。它配有一个预清洁资产，利用特殊的有机和无机化学方法，通过去除任何残留的天然氧化物来制备底物表面。它利用双快门模型保护材料不受颗粒和污染物的影响，同时允许传统工艺的向后兼容性和标准配方的接受。突袭者ECD通过其独特的工艺室提供了很高的灵活性。沉积室设计精密沉积氧化物材料，分解室配有先进的细线和特征印刷光刻技术。这种光刻工艺能够产生多达6种不同的特征尺寸和40纳米的最小特征尺寸。此外,SEMITOOL Raider ECD还具有精确速率和偏置控制功能,能够精确控制电介质的层厚度。入侵者ECD是一款独特的产品，因其高处理率、低成本、高精度而在光刻胶市场中脱颖而出。它已被证明能在学术和商业应用中提供出色的性能。其独特的设计和特点使其成为任何光刻胶制造的可靠设备。SEMITOOL Raider ECD是寻求经济、可靠、精确光刻加工者理想的光刻系统。