二手 SEMITOOL Raider ECD #9300422 待售

SEMITOOL Raider ECD是一种光阻设备，设计用于半导体行业内更大规模的生产和开发应用。它是晶圆处理、光刻涂层、烘烤、对准、步进照相成像、显影和冲洗的全集成处理系统。该单元具有基于Windows的图形用户界面（GUI），便于操作和编程。触摸屏显示屏为用户访问和直观菜单提供了许多选项，引导操作员完成光刻任务。它的自动加载器允许晶片快速轻松地加载到机器中。此外，流程步骤可以在软件中预先定义，允许用户运行多次曝光的不间断周期。Raider ECD的特点是板载抗性涂层涂层具有精确的扩散阻挡,可实现精确的涂层厚度-即使在从抗性涂层变为显影剂时也是如此。它包括一个新设计的带有加热轮的抗蚀剂履带，在每个烘烤周期提供极好的均匀性和可重复性。该工具还具有用于晶圆对准的真空卡盘、用于曝光的梁表、自动对焦头以及用于旋转、线性和多重曝光的自动驱动装置。SEMITOOL Raider ECD还包括一个新的专有开发者喷头，用于改进上行和双向操作。它采用开放式框架设计,便于检修和清洁零件。该资产的吞吐量速度可达每小时300个晶圆,最大晶圆大小可达300 mm。它可以满足批量和单次光刻过程的需要。Raider ECD旨在提供光刻胶制造过程中的精确度和自动化。它具有直观的操作员，以确保快速的设置和编程，提供准确的结果与可重复的重复性，并产生可靠的晶圆与一致性。该模型连接到全工厂范围的自动化网络,允许用户从中心位置监视和控制流程。该设备是光刻系统市场的领先者之一，是更大规模生产开发的完美选择。