二手 SEMITOOL Raider #9029095 待售
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ID: 9029095
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
Plating system, 8"
(4) Chambers
Missing parts
Currently installed in a cleanroom
2006 vintage.
SEMITOOL Raider是一种光刻设备,用于半导体工业加工晶圆。该系统用于从半导体晶片中涂覆、剥离和灰化光致抗蚀剂。该单元旨在提供一致且可重复的处理时间、跨晶片的均匀性以及提高的产量。Raider提供了一系列功能来适应不同应用程序的需求。机器可以配置为手动或全自动操作,并且可以针对特定应用进行定制。它还提供了一系列安全功能,包括双密封门、内置紧急停止按钮、基于PLC的安全工具、保护操作员的防溅板以及符合静电要求的外壳。资产包括多个处理室,包括一个预清洁室、一个曝光室、一个输送室和一个后曝光室。模型的预清洗室用于清洁基板,而曝光室则用于将基板暴露于产品特有的紫外线辐射之下。输送室是晶圆从一个腔室移动到另一个腔室的地方。最后,曝光后的腔室用于去除曝光后残留的光致抗蚀剂。该设备具有集成的机械臂,可简化晶圆处理和提高晶圆吞吐量。臂可以被编程为自动将晶片从起始腔移动到末端腔,以及在加工前后旋转晶片。机器人手臂能够被编程为以高达10厘米/秒的速度一次最多移动三个晶片。SEMITOOL Raider设计用于处理多种光敏材料,包括标准水溶液和非水溶液。该系统还可以配置为同时处理多种材料,从而提高效率。此外,还可以对设备进行编程,以便在不同时间处理不同类型的晶圆。机器还设计了一个先进的控制工具,允许用户监控和调整处理参数,以及设置校准曲线和计时参数。这样可以确保资产产生的晶片达到最高性能水平。该车型还设计了多种安全功能,以保证操作员的安全。这包括在出现问题时可以快速停止物料输送的安全关闭阀,以及在操作员需要离开房间时可以用来立即停止设备的紧急停止开关。总体而言,Raider是一个可靠高效的系统,旨在满足半导体行业的需求。该单元提供快速、精确的处理时间、提高的产量和方便用户的操作。对于希望提高光刻胶处理能力的公司来说,这是一个很好的选择。
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