二手 SEMITOOL RFS 500/700 #9216879 待售

SEMITOOL RFS 500/700（Resist Film Stripper）是一种光刻胶设备，用于剥离、清洁和干燥光刻胶如光刻胶面罩、溅射光刻胶层和光刻胶条纹。它设计用于在一系列晶片或太阳能电池板上或真空环境中剥离和清洁光致抗蚀剂，具有极好的均匀性。RFS 500/700是一个单一的工艺模块，旨在产生所需的压力、温度和流量，以获得最佳结果。它由一个PD控制器和一个三气歧管组成，控制必要的公用设施，如净化、回填和冲洗工艺室。该装置使用Micro喷雾器用氮和水溷合和喷洒光刻剂清洁剂，并去除光刻剂中的任何残留物，对底层的影响最小。此外，可调节的五点输送机允许清洁液均匀分配，以确保不发生非均匀的膜去除。光致抗蚀剂剥离清洗后，再用高效真空干燥。这是借助涡轮真空泵完成的，它产生了一种高速气流，蒸发了溶剂和加湿的空气分子，使光致抗蚀剂能够快速安全地去除。SEMITOOL RFS 500/700的设计目的是提供一致的、可重复的结果,其中包括多种光刻剂去除剂和基板,以及广泛的温度、压力和流速标准。它采用集成电源和通风系统，并通过其专用的安全软件提供进入工艺室的通道，使工程师能够监测剥离和清洁过程。总体而言，SEMITOOL RFS 500/700是一种有效和可靠的光致抗蚀剂装置，能够在高真空环境下去除各种光致抗蚀剂和基板，以实现极好的均匀性。这是一个理想的机器，任何操作需要安全和一致的剥离和清洁光刻胶和类似的过程。