二手 SEMITOOL / RHETECH EQ242S/PR #293628380 待售
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RHETECH EQ242S/PR是一种最先进的光刻加工设备，旨在实现一致和可靠的光刻结果。它配备了先进的电子束光刻工具和强大的紫外线激光，使其成为光刻应用的综合解决方桉。该设计针对光刻胶的快速、可重复处理进行了优化，确保了优异的工艺效果。它能够处理各种光刻胶，并且能够快速的晶圆对准，减少循环时间。该系统由两个关键组成部分组成；真空处理室，包含一个盒式电子束光刻工具和一个紫外线激光烧蚀装置。该机还配备了行星晶片对准工具，实现精确和可重复的晶片对准。该设计针对电子束光刻工具的最佳性能进行了优化，减少了加工时间，确保了工艺结果的一致性。该资产包括集成过程控制器和数据采集模型。这样可以精确控制流程和流程参数,并提供详细的日志记录流程结果。该设备还包括一个晶片装卸系统，用于晶片的装卸以及环境空气清洗和底漆。设计与洁净室兼容，密封工艺室防止外界污染。SEMITOOL EQ242S/PR是许多工业和研究应用的理想光敏处理单元。其先进的过程控制和数据采集系统确保了精确和可重复的过程结果,其模块化设计使其能够轻松集成到现有的过程流中。它的功能使其能够容纳各种光刻胶，使其成为一种用途广泛且可靠的解决方桉，可以满足各种光刻胶处理需求。
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