二手 SEMITOOL / RHETECH P28SR11S-10001 #9357791 待售

SEMITOOL/RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Equipment是一种高性能、自动化的系统,旨在处理具有光刻胶层的晶片。它具有先进的功能和强大的Servo-Robot控制清洁模块,能够处理最具挑战性的光敏组织,例如化合物和薄膜。该单元由4个主要组件组成-一个工艺室、一个液体处理模块、一个PLC控制单元和一个排气单元。该工艺室具有独特的设计，使机器能够精确、精确地管理和控制晶圆温度。它在室内还有一个低压脉冲等离子体源，用于增强光刻胶的性能。室内产生的等离子体高度一致，非常适合蚀刻和增厚光敏层。该室还配备了两个安全系统----氧气感应模块和氧化钛毫米过滤器----可以检测任何氧气的存在并在紧急情况下关闭该过程。液体处理模块用于测量、分配和提取光致抗蚀剂过程中的化学物质。此模块具有精确计量和线性级,可用于特定尺寸的容器。精密计量采用机器人辅助精密来提取和分配液体。PLC（可编程逻辑控制器）用于控制整个过程。这提供了对光刻过程中所有阶段的准确和可靠的控制。排气装置设计用于捕获、容纳和排出在光刻过程中产生的气态产物。它具有多种安全功能，以确保工作人员的安全并减少危险烟雾的影响。这些特点包括内置安全阀、消火器以及用于捕获和管理有害气体释放的辅助气体屏蔽装置。它还包括一个可选的电离滤波器，以减少静电积聚的风险。RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Tool凭借其先进的特性和功能,是生产高性能、精确、一致的光刻胶的理想工具。该资产确保了精确的结果和一致的产品质量,使其成为一系列行业的理想工具,包括半导体、光电子等。