二手 SEMITOOL / RHETECH ST-470S #9265372 待售

SEMITOOL / RHETECH ST-470S
製造商
SEMITOOL / RHETECH
模型
ST-470S
ID: 9265372
晶圆大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
SEMITOOL/RHETECH ST-470S是一种高端光刻设备,旨在将最高质量的图像赋予各种基板。系统首先使用单点激光器精确定位基板上的抗蚀剂图样。然后使用激光将基板分成多个较小单元的网格图样,从而可以更精细地控制图样保真度。光刻装置还采用高精度、多轴运动控制机,可提高图样分辨率和均匀性。此外,集成软件允许用户存储各种模式设置和精确的阻挡点,以便快速重复,并在更改项目时尽量减少停机时间。RHETECH ST-470S光致抗蚀剂工具利用最新的成像技术来确保精确和可重复的图案蚀刻。该资产采用连续波(CW)激光器和声光调制器(AOM),用于精确聚焦和能量水平,以确保一致的蚀刻质量。此外,光致抗蚀剂模型可以很容易地适应透射和反射基板。此外,光学掩模自动与基板对准,提高精度和精度。SEMITOOL ST-470S还配备了一个全面的安全套件,包括一个1级激光外壳,用于额外的保护和安心。此外,该设备还包括温度控制,以确保最佳的抗粘性和固化.最后,系统配备了多种内置联锁,以保护用户免受设备任何错误的光线或杂散运动的影响。总体而言,ST-470S是一个先进的光刻机设计,以提供在蚀刻高保真模式的优化性能。通过利用CW激光、AOM和运动控制等最先进的技术,以及通过创新的设计选择,如温度控制和复杂的安全协议,实现了最佳性能。总体结果是一款可靠、精确、用户友好的光刻工具。
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