二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265367 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870是一种光阻设备,旨在使用户能够实现关键的工艺步骤,例如光阻材料基板的涂层、显影和成像。该系统配有一个精确的机械臂，该臂到达基板并在光刻过程中经过多个顺序步骤。该装置利用工艺模式和曝光控制软件进行精确的浴温控制、照相工艺时间和胶片厚度的预设检测。此外，该机还配备了用于基板识别的顶置摄像头、高分辨率监视器和高精度图像分析工具。RHETECH ST-870支持一系列光刻胶类型，包括正负铬、ZEP520A、AZ5214E和S1813。它还具有预对准基板、控制曝光阶段数、控制湿浴循环时间等特点。该资产配备了全方位的图像和自动图像调整，允许用户以严格的精度生产出高分辨率的光致抗蚀剂。SEMITOOL ST-870配备了一个电子控制分配模型，用于将光刻胶精密沉积到刚性或柔性基板中。这种分配设备允许光刻胶在基板上的精确分层，允许用户以极高的精确度创建错综复杂的图样。ST-870提供了一个集成的开发系统，能够提供一致的光刻效果。该开发单元采用具有可调速度设置的垂直旋转涂层方法,以便在开发周期中获得最佳效果。该机器允许最多六个冲洗步骤从基板上完全去除光刻胶。SEMITOOL/RHETECH ST-870还设有一个清洁站，其中包括去离子清水、用溶剂清洁、干燥剂和干氮，以优化开发后的过程。清洁站的设计是为了确保一致和均匀的清洗过程。总体而言，RHETECH ST-870工具是一个高度通用的光刻胶平台，具有先进的自动化能力，使用户能够在制造光刻胶基板方面取得准确和精确的结果。这一资产适用于广泛的用户，从批量生产到规模较小的运营。