二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265370 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870是一种光刻设备,专为高级蚀刻和图样制作而设计。该系统旨在提供各种特征大小和长宽比,并用于为数千种不同的电子元件创建纳米级模式。光致抗蚀剂单元包括准分子激光器、光束扫描机、磁刮刀和加热烤箱。准分子激光束用于照射光刻材料，然后由光束扫描工具对其进行制图。磁铲用于将图样化的材料转移到基板上，如硅片。然后用加热的烤箱烘烤光刻胶以确保表面一致。RHETECH ST-870提供了多种功能来满足精密蚀刻和图样加工的需要。它具有248nm的波长，允许精确的光刻。该资产还为大型部件提供高达40毫米的现场尺寸,并稳定在0.1微米的精度。根据焦点和基板的大小,模型具有可设置为0.1-3 m/min的流量控制。此外,SEMITOOL ST-870还具有主动入射角控制,旨在最大程度地减少阴影和光学损耗。ST-870是一个极好的光刻设备，提供高速光刻，精密图样，和先进的蚀刻各种组件。它允许创建具有精确特征大小和完美长宽比的纳米级图桉。该系统与各种光刻胶配合使用，使其成为高级蚀刻和图样制作工艺的一个通用且可靠的选项。