二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9288369 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870光电抗蚀剂设备是为在晶片上沉积光电抗蚀剂以产生集成电路而开发的设备。光敏材料是用于微电子制造的感光材料，用于将图样从光掩模转移到晶圆或基板的表面。RHETECH ST-870是一个强大而可靠的系统，旨在提供精确的光刻工艺，以满足超精细的图桉和短特征要求。SEMITOOL ST-870由各种组件组成,从基板对准机器人（SAR）模块开始,该模块提供高精度的基板对准,以实现精确的迭加和聚焦。其自动装载机包含一个特殊的冷却室，用于保持光刻胶和减少粒子产生。它还配备了板载视觉单元，在晶片加载前检查其缺陷。该机器还包括一个气体输送模块（GDM），它提供必要的加热或冷却气体来控制沉积室内的温度和压力。下一个组件是沉积模块，它由真空沉积源和双重烘烤技术组成，提供均匀、快速的晶圆加热和冷却。该工具还配备了喷头，能够实现各种喷射角度和操作压力，从而可以更好地控制光阻喷雾图桉。它还利用低流量介电气泡，确保高长宽比器件的均匀覆盖。最后，使用高功率脉冲UV TLD光源应用光刻胶。它提供了高度的灵活性,使用户能够满足具有挑战性的尺寸和紧密的几何形状。光源还配备了角锁，以确保精确的图桉和对准光掩模。该资产可以与标准的8-12英寸、300毫米和450mm等各种类型的晶片一起使用。总体而言，ST-870是一种强大而可靠的光刻胶模型，能够提供高精度和精确度，从而产生复杂的微电子器件。其自动装载机和介电气泡确保光刻胶的光滑均匀涂层。其高功率光源允许精确的阵列和对准，温度和气体输送模块允许晶圆的均匀加热和冷却。SEMITOOL/RHETECH ST-870是有针对性的精密微电子电路制造的绝佳选择。