二手 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265377 待售

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC是晶片基材加工的光刻设备.该系统非常适合IC和MEMS应用等半导体处理,它结合了多种"智能"功能,可提高吞吐量和准确性。在晶圆处理方面，RHETECH WST-306AC使用专有的"微处理"池式加热器，提供更加均匀精确的温度控制。该单元还采用SubRack™设计，最多可插入三个小面积模块。这种模块化设计允许用户根据自己的特定需求定制机器。除池式加热器外，该工具还可配备化学品输送、废物处理和烤箱模块，允许有明显的使用点或批量操作。SEMITOOL WST-306AC Photoresist Asset采用"智能"技术构建和设计,可提高处理精度和吞吐量。例如，工艺控制器配备了"晶片流"功能，使模型能够跟踪整个工艺过程中基板的进展。此功能允许在整个过程中自动检查预定点的晶圆参数。其他智能功能包括流程配方控制、更快的周期时间和配方跟踪。采用脉冲反向技术，可以准确控制光刻胶预溷、冲洗、烘烤温度和烘烤时间参数。这种脉冲反向技术能够以微秒精度进行控制，并且具有很高的可重复性。WST-306AC还具有可减少碎片堆积的光刻灰化工艺。该系统配备了冗余的安全功能,包括过热保护、覆盖保护和热关闭。这些功能可防止操作不当和/或操作错误。总体而言，SEMITOOL/RHETECH WST-306AC Photoresist Unit是半导体晶圆加工的理想工具。它的特点,如"智能"技术、脉冲反向和SubRack™设计,可实现高效和受控的处理,并最大限度地减少浪费和停机时间。