二手 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265378 待售

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC光刻设备是一种高性能光刻处理系统，旨在满足半导体行业的严格要求。它是一种高度可靠、坚固的装置，能够处理直径达300毫米的基板，工艺可重复性± 2 μ m。此外,该机器还具有极低的拥有成本,并以最小的操作员维护提供最大的吞吐量。RHETECH WST-306AC光致抗蚀剂工具包括提供高精度的机器人基板装载机、自动基板装载、卸载和基板演示。SEMITOOL WST-306AC配备了双腔室选项,提供两个单独的腔室来处理基板,以最大程度地减少停机时间和提高生产率。WST-306AC资产上的抗喷剂是一种高精度、低粒度的喷剂，在动态范围内保持恒定的压力和/或流动。该模型还具有一个半月板控制环，有助于精确控制喷雾模式和抵抗厚度。该设备能够以极高的速度精确应用抗蚀剂，而无需在抗蚀剂填充过程中进行人工干预。SEMITOOL/RHETECH WST-306AC系统与先进的成像光学设备集成在一起,提高了工艺能见度.成像光学器件传输超高分辨率图像,这些图像可用于提供有关抵抗填充模式的详细信息。此外,该单元还包含一个高级消息显示板以显示过程结果。RHETECH WST-306AC光致抗蚀剂机具涂层玻璃光学器件，具有优异的光学性能，与激光干涉测量精确对准，可实现最高的效率和精确的图像处理。该工具还配备了先进的控制资产，允许精确控制抗蚀剂沉积、温度和压力。此外，它高度自动化，具有自动基板识别、自动装卸和先进的自我诊断功能。最后，SEMITOOL WST-306AC作为半导体生产中光敏处理的理想平台。该模型具有极高的精度、精确的过程控制和尖端的自动化，以有效满足现代半导体产业的需求。