二手 SEMITOOL SAT 1060S(0A1P) #9121332 待售

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SEMITOOL SAT 1060S(0A1P)
已售出
製造商
SEMITOOL
模型
SAT 1060S(0A1P)
ID: 9121332
晶圆大小: 6"
Spray acid tools, 6".
SEMITOOL SAT 1060S(0A1P)光刻胶设备是一种化学剥离装置,用于剥离和回收光刻胶和光刻胶平板。该单元的设计满足了各种各样的光掩模的需求。该系统由一个不锈钢橱柜构成,内有一个10加仑的镀镍罐,以实现最大的传热和化学安全。化学罐装有温控底填料储罐、排水泵和循环加热线圈。顶部也是操作员可以访问溶液流量和板块温度控制的地方。该单元由四个主要部分组成。泵、加热线圈、再循环器和反应堆。泵用于将光刻胶溶液泵送到加热线圈,该线圈负责将溶液加热到罐内一次。再循环器再用于循环加热的光致抗蚀剂溶液,然后再引入反应器。这些反应器是封闭的不锈钢包覆容器,在光敏溶液暴露于紫外线下,可以容纳光敏溶液,使其具有光效性。该机采用三种独立的可编程控制器系统进行控制。这些控制器监视和控制刀具的温度、时间、压力和电流。它还管理资产的周期率、滚筒速度和转轴压力。该模型设计用于安全、高效、环保的操作。它的静水室有助于保护照相面罩免受危险的照射,同时设备测量和自动调整化学浴的温度和压力。此外,SEMITOOL SAT 1060S(0A1P)还配备了化学固定阀和直接空气喷射喷嘴,以防止操作员接触到所使用的化学品。该单位还有两个浮盖和一个P型陷阱,使其能够运行,而无需经常受到照管。SAMITOOL SAT 1060S(0A1P)光刻胶系统是光刻胶剥离回收的绝佳选择。通过将高效、安全的设计与充足的自动化和化学保留功能相结合,该设备可帮助任何一家光掩模工厂保持峰值性能并生产高质量的口罩。
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