二手 SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U #293628381 待售

SEMITOOL SAT 111（25 08） 0U是一种专为晶圆清洁和涂层而设计的全自动光刻设备。该系统既适用于大批量生产，也适用于原型生产。它提供了紧密集成的基板处理，蚀刻，和后涂层工艺，一个全面的解决方桉，以抵抗涂层工艺。SAT 111利用先进的计算机控制系统前置传感和处理、边缘控制、配方管理和主控制。它的主要特点包括一个自动对焦装置，以保持一致的图像质量，一个能够处理直径达200毫米的基板的单热卷对卷工艺，以及先进的烘烤控制和温度监测系统。这种抗蚀剂的化学设计可以在很宽的晶圆尺寸范围内提供均匀的抗蚀剂覆盖.自动晶圆处理机提供可靠的基板运输。刀具的边缘控制可确保均匀的边缘曝光,从而提高边缘给药精度。它的高级配方管理资产允许用户快速选择任何晶圆大小范围的配方。烘烤控制模型旨在提供准确的热力图,以提高性能和质量。SAT 111还配备了专用的边缘提取设备。该系统消除了手动操作,并提供准确的边缘检查性能。该装置还设有斜坡保护机器，可防止损坏未受保护的基板。除了自动化功能外,SAT 111还提供一系列安全功能。它是为了遵守严格的安全标准而建造的，包括防震和电流过大监控器。该工具还提供了增强的监测选项，包括温度记录和频率监测。它还提供了一个直观的用户界面，引导用户完成整个过程。SEMITOOL SAT 111（25 08） 0U是一种功能强大且可靠的光刻胶资产,旨在满足晶圆清洁和涂层的苛刻需求。SAT 111具有自动化晶片处理、先进配方管理和烘烤控制,以及高安全标准,为光刻涂层工艺提供了全面的解决方桉,非常适合大批量生产和原型生产。