二手 SEMITOOL SAT 20605 #293830238 待售

SEMITOOL SAT 20605是一种最先进的光阻处理设备，旨在为半导体晶片和基板的加工提供精确、可靠、经济高效的解决方桉。该系统旨在通过旋转涂层和后烘烤、图像传输、曝光、干湿蚀刻、电镀和剥离等多种技术处理晶片。整个单元被安置在四个独立的主要模块中，以实现最高的效率和易用性。机器的核心是抗蚀剂处理器模块，用于以均匀的模式向晶片输送光抗蚀剂，使其暴露在光线下，并在处理后开发抗蚀剂。处理器模块包含四个工作站以及处理晶片所需的其他一些工具和组件。第一站由一个自旋涂层和相关的加热元件组成，这些加热元件用于将光刻胶均匀地散布到晶片上，并用后烘烤抗蚀剂来固化。第二个工作站包含一个掩模对齐器，用于将晶片暴露于光照模式，并将掩模精确地放置在自旋涂层晶片上。第三个工作站包括一个图像检测器，用于监测和调整光强度，以及一个基板用于曝光后烘烤。第四站包含一个塑料树脂机械手和一些其他部件用于湿法加工晶片。在光阻处理和成像之后，晶片被移动到带状模块，以进行导电膜的湿化学和电镀。模块的外观与Resist Processor相似，但内部包含化学控制，以便在电镀前根据需要预先清洁和蚀刻硅片。该工具还包括用户可调节的电镀参数，如电流密度和耗尽。带状模组还包含几种额外的湿处理工具，如加热冲洗站、喷涂抗剥离机、非氯化有机溶剂和氢氧化铵处理。所有这些工具都设计为提供一整套清洁、蚀刻和电镀功能。资产中的第三个模块是真空模块，它提供了处理玻璃和聚酰亚胺等更细腻的晶圆基板的能力。这个模块是模型中最先进的，利用了许多不同的技术，包括真空固化、结合配体、软烘烤和曝光。模块包含一个真空室、许多其他组件和工具,以及用于检查基板的查看窗口。最后,该模块包括控制模块,其中包含控制和监视设备所需的软件和硬件。控制模块包括三个独立的控制系统,这些系统用于监视工艺阶段、系统温度和限制。它还包括许多功能,例如数据日志记录、维护警报、配方创建和控制以及警报通知。综上所述，SAT 20605光阻装置的设计目的是为以经济高效的方式处理晶片提供可靠的解决方桉。它由四个互连模块组成，每个模块都有自己的组件和功能，并配有一个全面的控制模块，提供一个统一且易于使用的过程控制机器。