二手 SEMITOOL SAT 2060D #151789 待售

SEMITOOL SAT 2060D光敏设备是一种紧凑、经济高效的光敏处理解决方桉,非常适合商业、实验室和研究应用。该系统能够提供精确的湿式清洁步骤和先进的抗后烘烤步骤。该单元易于使用、操作和维护,采用全自动配方驱动的方法以提供一致和可靠的结果。SAT 2060D采用双轨设计,可实现更高的吞吐量生产。双轨设计还允许更大的进入晶圆载波区域，有助于人体工程学和操作员安全。机器使用APC（高级过程控制）来精确控制加热和冷却坡道速率,以确保精确的计时和温度,这有助于确保每次给定运行的结果一致且可重复。该工具还内置了自我诊断和配方编程，确保了一致和可靠的性能。该资产采用两个独立的晶片载波进行两个独立的过程，这是理想的多步抵抗条带操作。该型号提供了四组不同的标准设备配置（每个周期3个、5个或8-Modules个）或标准8-Module配置（附加选件模块）的选择。SEMITOOL SAT 2060D使用先进的SCADA（监督控制和数据采集）技术来提高数据收集精度、过程控制和警报监控。该系统具有可重复使用或一次性晶片载体的选择，并提供精确的湿式清洁工艺、端点读数、晶片位置调整和后耐火烘烤工艺步骤。它能够每小时运行多达1,500个晶圆,具体取决于配置。还可以选择各种化学品，包括稀氢氟酸（HF）和硫酸（H2SO4）溶液。SAT 2060D具有广泛的特性和灵活性,非常适合各种光刻胶处理应用。短周期时间、精确的端点读数和晶圆位置调整使其成为商业、实验室和研究应用的理想选择。该装置能够在每次运行时提供一致和可靠的结果，使其成为一个令人难以置信的可靠的光刻机，提供精确，可靠性和成本效益。