二手 SEMITOOL SAT 2080S #9134041 待售

SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment是一种亚微米级湿蚀刻系统,旨在帮助制造商精确蚀刻半导体器件。该单元由软件界面自动控制,使蚀刻过程简单、准确。机器由一个中央控制面板、两个光刻喷射器和一个用于对准晶片的基板支架组成。此外，它还配备了一条带有几个喷嘴的单一气体管线，为蚀刻室提供反应性气体，以及精确的压力和流量控制模块。光致抗蚀剂-注射器用于将精确量的光致抗蚀剂以基于器件尺寸和形状的最佳模式直接分配到晶片上。光致抗蚀剂施用后，再暴露于一个光源，用于激活特定区域的光致抗蚀剂。然后将未曝光的光刻胶蚀刻掉，留下与使用的光源相对应的图桉。然后将晶片放置在基板支架上，在基板支架上有一个可调节的高度，以确保对晶片施加精确的压力。可调高度和压力控制提供了优化的蚀刻工艺与低物理应力的基板。此外，在蚀刻之前可以在基板上涂上清洁和防反射涂层，以确保最佳的表面条件和减少扭曲。气线连接到整个工具，为蚀刻室提供反应性气体。这种气管提供一致和可靠的流动分布和均匀暴露于蚀刻室.此外，该资产还包括压力和流量控制模块，这些模块有助于准确控制反应性气体流向腔室，确保整个蚀刻过程准确无误。最后，中央控制面板允许操作员监控整个型号。此面板配备了快速启动序列,以及状态、诊断和诊断历史记录读数。面板上的图形用户界面使得设备的设置和维护对于操作员来说既简单又高效。SAT 2080S Photoresist System是一种精密、精密的半导体器件蚀刻工具。凭借其集成的组件和控件，这一单元是全球制造商的理想解决方桉。