二手 SEMITOOL SAT 2080S #9210337 待售

SEMITOOL SAT 2080S光刻设备是一种在半导体工业中广泛使用的高性能、高容量光刻系统。该单元通过满足最具挑战性的规范和要求,提供最大产量,并实现可重复的流程流程。这台机器使用最先进的双波长扫描和步进重复曝光功能来满足先进和未来晶体管技术所要求的最高分辨率水平的需求。该工具基于双波长SpectraBroadbandâ',具有775 nm的近红外（NIR）波长,允许更小的结构和更高的分辨率。该资产还具有独特的自动曝光通道（AET）概念,它使曝光周期自动化,并提供更大的吞吐量、更高的产量和更好的质量控制。该模型还配备了完整的计量反馈、晶圆过程诊断和控制、配方缺陷表征等集成过程监控功能。这样可以改进过程理解、晶圆级故障检测和模式相关缺陷的预测。该设备还提供了多工艺和多产品的灵活性，带有可选的双室蚀刻模块以及用于蚀刻前和蚀刻后处理的外部腔室。此外,它还可与NexBar'®条形码读取器配合使用,可自动执行卡带管理过程并确保准确性。SAT 2080S Photoresist System是一种最适合研究和生产的顶级工具。它利用先进的光学、自动化、过程监控工具和产量改进策略来提供更高的产量和可重复的过程流。它能够满足最苛刻的规格要求,确保此设备在未来许多年内仍是业界领先的解决方桉。