二手 SEMITOOL SAT 3060 #9314452 待售

SEMITOOL SAT 3060光刻设备是一种用途广泛且可靠的硬件，旨在满足光刻胶开发的严格要求。这个系统建立在一个标准的垂直轨道平台上，能够支撑高达300公斤的组件。该单元包括一个SEMITOOL E550集成自旋漂洗干燥（SRD）平台，用户可以将湿式台式工艺整合到他们的光致抗蚀剂开发中。E550 SRD平台包括最新一代的再循环过滤和离心分离技术，为湿加工工具提供了无与伦比的性能和更长的寿命。除了SRD平台外，SAT 3060光刻机还包含了多个生产级特性。该工具设计用于处理200 mm以下的晶片,并可支持开发用于先进电子设备制造的硬质厚的光刻屏蔽。利用内置的可编程多区域步进电机旋转晶片，为优化化学分布提供动态自旋速度和加速度。该资产还包括一个4站热板，可针对65°C至190°C的温度进行编程。4 Zone Hotplate允许用户针对不同的基材钻机和应用开发不同的配方，使其成为复杂加工要求的理想选择。该模型还包括一个包含的水槽，它提供了一个快速和有效的方法，使光刻胶回到室温，消除潜在的污染。SEMITOOL SAT 3060光刻设备使用方便的控制面板,便于维护和故障排除。用户友好的界面可方便地导航和监视过程参数。它还设计了内置的模块化安全开关系统,从而减少了停机时间并提高了生产效率。总体而言,SAT 3060光敏装置是一种可靠高效的光敏显影机.其可自定义的热板、旋转速度选择器和广泛的温度设置使其成为处理硬质和厚厚的光刻屏蔽的理想选择。此外,该工具的模块化安全系统可确保对过程参数进行监控,以确保质量和准确性,并提供快速有效的故障排除系统。