二手 SEMITOOL SAT #293671300 待售

SEMITOOL SAT是一种光刻设备，设计用于高精度光刻。它用于制作半导体晶片上的小电路或复杂图样，用于复杂的微电子器件制造。该系统由一个光步进器组成，该步进器配有可变波长的激发源，用于曝光晶片上的光致抗蚀层以及随后的开发。SAT设备配备了高分辨率的投影镜头，以及自动化的样品加载和对准制导机制，允许高吞吐量的过程流，确保了极高的精度模式。该机能够实现正负光抗蚀剂沉积、感光器预烘烤、光照和曝光光照强度、图样检测、聚焦调节、开发、后烘烤、检验、图样高度测量等各种光刻过程。SEMITOOL SAT工具能够曝光跨越从简单圆到高度错综复杂的几何图桉的各种复杂形状的光刻层。这是因为资产的自动模式放置引擎能够将这些模式精确地放置到晶圆上。然后,该模型使用多个照明角度来确保光刻层的最佳覆盖范围。高分辨率成像还由设备的光学器件提供,可进一步支持阵列放置精度。此外，SAT在晶圆级整合了一套全面的测量技术，并进一步允许使用者自订成像能力，从而为他们提供自由选择模式大小、对齐参数和满足他们特定製造需求所需的其他变异。再者，SEMITOOL SAT也允许精确的温度控制，有助于减少不完美结果的机会；这也有助于减少部件损坏的机会。SAT提供了各种其他功能，旨在提高制图结果的可靠性和准确性。其中包括确保对焦和对准的高分辨率相机，可调激光源可变光照射，以及高精度光学系统以最大化照射均匀性。而且，该单元由于直观、用户友好的图形用户界面，非常易于使用，允许快速设置工艺配方。总体而言，SEMITOOL SAT机器为增强半导体器件制造提供了高性能、准确可靠的晶圆阵列解决方桉。其广泛的工艺能力、可调的照明设置和高分辨率成像使其成为任何生产线的绝佳资产。