二手 SEMITOOL SAT #9300421 待售

SEMITOOL SAT是设计用于半导体工业的光刻涂层设备。该系统由SAT单元和SMP单元两个组成部分组成。SEMITOOL SAT单元是单元主体，负责光敏材料的应用和去除。本单元由主体和补给臂两部分组成。主体装有涂抹和去除光刻胶所需的元件，如喷枪、温度和压力传感器以及空气模块。供应臂中含有光致抗蚀剂材料，包含在两个主储罐中。光敏材料使用旋转喷嘴和薄膜头输送到晶片。机器的第二个部件是SMP单元，设计用于帮助管理涂层过程中的光敏材料。该单元由8级储液罐、材料预热器、吸压模块和循环泵四部分组成。8级储罐有助于管理光刻胶材料，最多可用于储存八种不同类型的光刻胶材料。材料预热器用于提高光敏材料的温度，以确保在涂层过程中光敏材料与晶片的正确粘合和固化。吸压模块为储罐内部的光敏材料提供吸压，确保了正确的涂层压力。最后，循环泵有助于保持储罐中的光敏材料在所需的温度和浓度。总体而言，SAT是一种功能强大、高效的光刻涂层工具，专门设计用于半导体行业。SEMITOOL SAT单元和SMP单元的组合使资产能够准确、一致地将光敏材料应用于晶片，从而产生更高质量的结果。此外，该型号可靠、操作方便，是大容量半导体生产环境的理想选择。