二手 SEMITOOL SAT #9314457 待售

SEMITOOL SAT是为半导体材料和集成电路的自动化、单晶圆湿处理而开发的光刻设备。该系统消除了用水性或溶剂基化学品手动加工晶片的需要，提高了吞吐量，减少了劳动时间。SAT单元由三个主要组成部分组成：工艺室、光敏机构和化学输送机。工艺室的设计是为了维持一个受控的环境，在这种环境中，热量和湿度受到调节。这有助于确保过程一致且可重复。可以打开腔室以方便晶圆的装卸。光阻机构负责将晶片暴露于紫外线激光器，以创造所需的特征。对曝光进行微调，以确保最高质量的结果，确保每个加工晶片的可重复性和优越的结果。化学品交付工具负责交付整个SEMITOOL SAT资产所需的化学品和溶剂。它旨在以正确的顺序和在正确的温度和成分下处理晶片，确保达到期望的结果。该模型可设置为喷涂和冲洗各种化学品和溶剂，使其能够处理不同类型的加工。除了提供高质量的结果外，SAT设备需要最少的用户干预。它是高度自动化的,允许快速设置和操作。这减少了维护、维修和重新校准的停机时间,使其成为处理晶圆批次的经济高效的解决方桉。此外，该系统可与其他生产设备相结合，从而实现简化和自动化处理。SEMITOOL SAT单元的使用使制造商能够从晶圆加工中获得优异、一致的结果。其紧凑的设计、自动化的操作和较低的维护要求，使其成为湿法化工工艺的可靠选择。总而言之，SAT机是半导体加工的可靠、高效、经济的选择。