二手 SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU #9120981 待售

SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU是为满足先进光刻工艺要求而设计的全自动光刻自旋喷涂设备。该系统提供对自旋速度、停滞时间、喷雾时间、喷雾体积和基板温度的精确自动控制，确保材料的最佳利用率和优越的基板性能。该装置能够精确计量各种光刻胶，用于在直径从4英寸到12英寸不等的基板上涂层。动态真空过程与360旋转级相结合，使基板在喷涂过程中保持完美的静止。机器配备了自动清洗功能，以确保循环之间的基板上不残留残留物。该工具具有专有的变速交流同步电动机。电机由数字控制控制,可变设置允许用户设置500至4500 rpm的任何旋转速度,以及1至4秒的可变旋转时间。这使用户能够准确控制施加到基板上的旋转速度和抗蚀剂量。内置喷雾机构可提供高达每分钟6毫升（ml）的各种光刻胶，使其达到先进光刻工艺所需的高通量。该资产还具有独一无二的温度控制功能，可在喷涂过程中均匀加热基板。这样可以消除可能导致材料不一致的温差,以及将工艺温度升高得过高。该型号附带了一个全面的软件包，允许用户自定义诸如喷雾循环速率、旋转速度、喷雾时间、喷雾体积和基板温度等设置。这些设置可以保存到文件中并在需要时被召回。设备还包括一个图形显示,用于指示过程状态和维护的功能错误代码。SAT1080SOA1PCAU是光刻实验室的绝佳选择，因为光刻实验室需要精确可靠的光刻胶旋转和喷涂。该系统提供强大的功能集、卓越的精确度和简单的操作,使用户能够针对独特的需求优化其工艺过程,并确保最佳材料使用和卓越的基板性能。