二手 SEMITOOL Scepter SAT 211 (25 04) 0 #9379202 待售

SEMITOOL Scepter SAT 211（25 04）0是为了先进的半导体製造而设计的高精度半自动光刻设备。这套集成系统将Scepter SAT 211光刻机、E-Beam轨迹单元、晶圆洗涤器和迹线分析仪合二为一。Scepter SAT 211光刻胶分配器具有高分辨率的重量自动分配机，能够准确、一致地给予光刻胶，减少化学成分，以更好的控制。集成的E-Beam轨迹工具提供精确的晶圆定位，速度高达每小时300晶圆。晶圆洗涤器设计用于精确控制湿洗和干洗过程、分配化学品、冲洗和洗涤。最后，痕量分析仪资产使用电光元件检测晶片洗涤过程中引入晶片表面的粒子。Scepter SAT 211组件的组合提高了吞吐量,提高了过程的一致性和可靠性,并对晶圆清洗过程进行了卓越的控制。光致抗蚀剂分发器允许在晶片表面上均匀可靠地应用抗蚀剂，而先进的电子束跟踪模型则确保在过程的各个步骤中精确对准。微量分析仪设备能够检测粗细颗粒污染物，以便更好地控制清洁过程。结合自动晶圆洗涤器，这些组件提供了一个集成和精确的晶圆清洗过程。综合系统设计使Scepter SAT 211成为蒸发技术、化学蚀刻和沉积工艺的高效可靠的解决方桉。该装置具有高精度均匀喷涂、减少化学反应以改进控制和粒子检测等特点，在半导体制造中支持更高的精度和可靠性。先进的工艺控制能力还允许更精确的电镀和基板清洗。此外,机器的自动湿洗和干洗功能显着降低了人工成本,提高了整个过程的效率。