二手 SEMITOOL Scepter SST-421 #9229859 待售

SEMITOOL Scepter SST-421是一种光阻设备，设计用于光子器件的高级IC处理和原型设计。它旨在通过标准旋转轨道系统易于使用的平台实现最高分辨率。它是一个自动化单元，具有先进的抗蚀剂旋转和喷雾机，与SEMITOOL宙斯视觉工具软件协同工作，对抗蚀剂沉积过程进行精确控制。宙斯视觉工具提供了一个直观的图形用户界面来设置、监视和管理抵抗应用程序。该软件允许用户设置关键处理步骤的精确参数，如旋转速度、喷雾压力、温度和腔室环境。权杖SST-421提供了对抗蚀剂厚度、均匀性、边缘轮廓和抗蚀剂流动均匀性的精确控制，从抗蚀剂旋转到固化为止。这样可以确保以尽可能高的分辨率应用光刻胶，在整个晶片上的厚度变化最小。该工具具有高度模块化,可容纳各种工艺室和晶圆尺寸。这允许用户执行晶片清洗、蚀刻和抵抗剥离操作。机器人手柄资产集成到模型的背面，让用户能够灵活地轻松更改工艺站。SEMITOOL Scepter SST-421是为最大的可靠性和准确性而设计的，允许用户操纵抗蚀剂成分、聚合物和溶剂，以最大限度地提高分辨率和工艺产率。所有关键部件均由耐腐蚀材料组成，可适当遏制化学品，防止工艺室和晶片受到污染。该设备已由SEMITOOL测试和质量控制小组进行质量和性能检查和验证。