二手 SEMITOOL Scepter #293807079 待售

SEMITOOL Scepter是一种光抗蚀剂设备，使用专门的掩模在多种材料中创建纳米级图桉。该系统由晶片级、真空源、光学和光源组成。光掩模由高度专业化的材料制成，因此可以设计成创建复杂的图样。晶片级用于以产生图像所需的必要精度正确定向光掩模和晶片。真空源保证了晶圆加工与真空要求的兼容性.此外，光学器件的设计提供控制光学器件的光掩模成像到晶圆。光源可以根据使用的光致抗蚀剂类型而变化，如超高真空（UHV）和深紫外线（DUV）激光源。为了正确地对光掩码成像，采用了图像对准单元。这是一种高精度的设备，可以旋转和移动光掩模直到它精确对准晶圆。一旦光掩码正确对齐，曝光过程就可以开始了。曝光过程涉及一台镜头机器，将光聚焦在光掩模和晶圆上，曝光可以根据光源的强度和光掩模的定位而变化。这种暴露过程是导致光致抗蚀剂变硬和形成图样的原因。一旦光掩模被曝光，晶片就被开发出来，以便去除光刻胶中未曝光的部分。这样就形成了晶片上的图样。最后一步，晶圆准备好进行处理，以钝化表面污染物，然后该图样可用于各种应用，如形成晶体管、电容器或其他纳米级器件。权杖由于其精确的对准能力、与多种光源的兼容性以及高重复性，是最受欢迎和最可靠的光阻系统之一。对于那些希望为其各种设备和应用产生纳米级模式的人来说，它是一个非常宝贵的工具。