二手 SEMITOOL Scepter #293831473 待售

SEMITOOL Scepter是为半导体工业中的应用而设计的光阻设备。该系统用于沉积光致抗蚀剂薄膜，这是一种抵抗紫外线辐射的材料。这是一个先进的单元，设计用于高通量湿X射线或电子束直接写入应用。权杖以最优质的材料设计，注重热稳定性、均匀性和粒子控制。它包括三个一起加热的储罐，每个储罐都有自己独立的温度控制，这样反应堆温度就可以被严密监控和控制。SEMITOOL Scepter还有一个真空机器，可以减少排气和促进均匀性。权杖的优势来自其独特的特点，如其快速泵浦循环时间、可调轨距仪表、沿晶片边缘促进均匀性的再循环提升套件、提高边缘完整性的盖子工具以及其八级数字功率控制。SEMITOOL权杖提高了沉积层的质量，允许沉积速率高达15微米/秒，并且在6英寸晶圆上均匀度为+/-4微米。此外，它与传统的光掩模配合使用，分辨率高达0.6微米，并产生0.5-2.0微米厚的光阻层。该资产还采用不锈钢部件制造，非常适合使用各种光刻材料。Scepter被全球多家领先的工厂所使用，并为光刻胶性能设定了新的标准。它在均匀性和沉积率方面提供了卓越的一致性，并具有使用各种口罩的能力。该模型还提供了快速的周期时间和方便的维护，使其成为许多不同类型的光刻沉积工艺的理想选择。