二手 SEMITOOL SDC-400 #68685 待售

SEMITOOL SDC-400是一种用于半导体制造的光阻设备,用于在晶圆上绘制IC图案。本质上是一系列集成的模块，可以分布、加工和检验光刻胶，允许高通量和非常高的产量的无缝过程流。该系统设计用于处理各种光刻胶和基材，使用户能够灵活地定制其工艺参数，以适应他们所期望的结果。SDC-400利用创新的模块化板技术,在不同的流程之间切换时,可实现高效的流程流程和更快的变更。这项技术允许同时执行多个过程，大幅缩短周期时间，提高产量。该单元包含一个晶片处理模块，该模块从装载站拾取晶片，将其转移到处理阶段，然后将其存放到容器中卸货。这样就可以在进程之间进行快速、高效的传输。该机还包括一个红外预烤模块，该模块使用仔细校准的温度和时间来确保光刻胶的最佳旋转涂层。接着是主要的光致抗蚀剂室，它由紫外线灯和一个将曝光的光致抗蚀剂闪烁到晶片上的干燥区组成。IC的模式就是在这里进行的。最后，烘烤后模块运行烘烤后序列，以除去残留的光刻胶，然后将晶片卸载并准备进行检查。资产中还包括一个视觉缺陷映射工具，以确保保持最高质量控制水平。该模型使用专有算法来识别、量化和绘制任何缺陷,从而确保只有质量最高的晶片才能到达客户手中。总之，SEMITOOL SDC-400是一种先进的光致抗蚀剂设备，它利用最新的技术进行图样和缺陷分析，非常适合半导体制造应用。其高吞吐量、灵活的设计和准确检测缺陷的能力使其成为任何生产线的绝佳选择。