二手 SEMITOOL Semitool 860 #9124362 待售
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ID: 9124362
晶圆大小: 5"
Spin rinse dryer, 5"
Double stack bowl
PC101 Controller
Conductivity/resistivity monitor
120V, 15 amps, 50 / 60Hz.
SEMITOOL Semitool 860是一款专用的光刻胶设备,旨在使用户能够轻松创建先进的光刻胶图桉。它由几个组件组成,这些组件结合在一起,为制造和优化制造电子设备提供了一个平台。Semitool 860的主要部件是专有的光电扫描仪(OE-1)。该扫描仪经过编程和优化,能够以高精度和一致性扫描用户定义的光刻胶图样。它采用先进的光学器件,包括两个激光束:一个用于创建光刻材料所需的紫外线图样,另一个用于创建每个激光脉冲的控制,以创建所需的图样。激光脉冲可针对不同的光刻胶类型进行微调。SEMITOOL Semitool 860的曝光表设计为确保曝光过程中的高均匀性和最小失真。其空气承载系统确保光刻胶图样精确地暴露于紫外线源,从而形成明确的曝光。此外,该表支持用户控制、无下垂和低应力对齐过程,而数字控制龙门则提供精确的模式大小控制。Semitool 860还配备了一系列先进的软件工具,可以用来优化光刻胶图样和工艺。这包括一个CAD库,允许用户导入标准形状,以及一个模式识别算法,它可以识别光刻胶图桉的形状。软件还允许对曝光过程进行交互式控制,允许用户调整光学单元设置,软件提供了几何面积、峰值强度和表面粗糙度等广泛的指标。此外,该机还包括一个基站,提供几种可编程的安全和自动化设置,以保持最高质量的生产。这包括实时监测紫外线暴露水平、基板温度控制和自动晶圆处理。该站还可用于监测和调整过程中的激光输出,以确保最佳的光阻图样制作。SEMITOOL Semitool 860是一款功能强大、用户友好的工具,可提供高效、先进的光刻胶图桉创建过程。其最先进的组件和软件确保了高精度和可靠性,并且凭借一系列的特性和功能,用户可以轻松创建最复杂的光刻图样。
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